绝缘环

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绝缘环性能特点：
*氮化硅纯度（＞99%），无残余金属氧化物对气氛产生影响，保障硅产品的高纯度；
*在高温（＜1800℃）下不受氢还原性气氛、四氯化硅气氛、三氯氢硅气氛影响；
*绝缘性能好，是陶瓷材料中电阻率最高的致密材料，在爬电距离100mm条件下可耐5 万伏以上高压击穿；
* 抗热冲击性强，可以1200℃到20℃水冷的快速热循环中承受20次以上不破裂；
* 不受强酸浓碱腐蚀，在用腐蚀液清洗时，表面光洁度及成份均不受影响；

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